低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比，优点有？

第1题：

土壤三相比，即指固相、气相、液相的溶积百分比。

第2题：

热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（）化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。

第3题：

第4题：

淋溶（eluviation）与淀积（illuviation）过程

第5题：

二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PECVD淀积。

第6题：

采用LPCVD TEOS淀积的是什么膜？这层膜的优点是什么？

第7题：

物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。

第8题：

热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？

第9题：

损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。

• A、能量淀积
• B、动量淀积
• C、能量振荡
• D、动量振荡

第10题：

有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法？