在硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤:预淀积、推进和激活。

题目
判断题
在硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤:预淀积、推进和激活。
A

B

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第1题:

假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2


正确答案: (1)如果这次预淀积进行了总共t分钟,若预淀积温度不变,引入3Qcm-2的杂质需要多长时间?(2)预淀积后再进行推进扩散,要求推进的杂质足够深,使得最后表面杂质浓度等于其固溶度Cs的1%。若已知预淀积过程中的(Dt)predop,推导出推进扩散过程中(Dt)drive-in的表达式。

第2题:

CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么?它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率?


正确答案: CVD过程包括两个部分:一、反应剂在边界层中的输运二、反应剂在衬底表面的化学反应 存在两种极限情况:①hg>>ks,Cs趋于Cg,淀积速率受表面化学反应速率控制。反应剂数量:主气流输运到硅片表面的﹥表面化学反应所需要的②hg<0e−EA/KT淀积速率随温度的升高而成指数增加。②高温情况下,质量输运控制由于反应速度的加快,输运到表面的反应剂数量低于该温度下表面化学反应所需要的数量,这时的淀积速率将转为由质量输运控制,基本不再随温度变化而变化。

第3题:

热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关?淀积速率的测量采用什么办法?


正确答案: 简述其工作原理。淀积速率与蒸发材料温度腔体形状等因素有关。淀积速率通常用石英晶体速率指示仪测量。所用器件为一个谐振板,它可以在谐振频率下振荡,工作时测量其振荡频率。原理:因为晶体顶部有材料蒸发淀积,所外加的质量将使得频率偏移,由测得的频率移动可得出淀积速率。淀积足够厚的材料后,谐振频率会移动几个百分点,振荡器便会失效,不再出现尖锐谐振。将频率测量系统的输出与机械挡板的控制相连,淀积层厚度可以在很宽的淀积速率范围内得到很好的控制。同时可以将淀积厚度的时间速率变化反馈给坩埚的温度控制,以得到恒定的淀积速率。

第4题:

在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。

  • A、使薄膜的介电常数变大
  • B、可能引入杂质
  • C、可能使薄膜层间短路
  • D、使薄膜介电常数变小
  • E、可能使薄膜厚度增加

正确答案:B,C

第5题:

通常热扩散分为两个大步骤,其中第一个步骤是()。

  • A、再分布
  • B、等表面浓度扩散
  • C、预淀积
  • D、等总掺杂剂量扩散

正确答案:C

第6题:

在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质,在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源,不再有新的杂质补充,这种扩散方式称为:()


正确答案:恒定表面源扩散

第7题:

在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在900~1050℃的条件下,扩散时间大约()为宜。

  • A、4~6h
  • B、50min~2h
  • C、10~40min
  • D、5~10min

正确答案:C

第8题:

例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。


正确答案:硅中固态杂质扩散的三个步骤:
(1)预淀积:表面的杂质浓度浓度最高,并随着深度的加大而减小,从而形成梯度。这种梯度使杂质剖面得以建立
(2)推进:这是个高温过程,用以使淀积的杂质穿过硅晶体,在硅片中形成期望的结深
(3)激活:这时的温度要稍微提升一点,使杂质原子与晶格中的硅原子键合形成替位式杂质。这个过程激活了杂质原子,改变了硅的电导率。

第9题:

在热扩散工艺中的预淀积步骤中,砷和锑的扩散温度为()。

  • A、1050~1200℃
  • B、900~1050℃
  • C、1100~1250℃
  • D、1200~1350℃

正确答案:A

第10题:

在采油中,石蜡通常是指原油中所含的哪些成分()。

  • A、固态或半固态的石蜡
  • B、胶质
  • C、沥青质
  • D、水
  • E、杂质

正确答案:A,B,C

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