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溅镀机短路，怎样解决？

题目

溅镀机短路，怎样解决？

参考答案和解析
正确答案: （1）检查大小mask是否有发黑、短路的地方，如有，更换mask；
（2）清理靶材边缘，清理溅镀仓。
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相似问题和答案

第1题：

怎样校正溅镀机PA？


正确答案: 当溅镀机PA取片不好或发现盘片在PA处有划伤时，就要校正PA。
（1）将溅镀机与传送梁连接的螺栓松开，SA升起，PA在0°或180°位置UP位置，关掉压缩空气，加上校正工具，检查PA在传送梁上的位置是否正确。如果不正确，用手锤轻轻撞动溅镀机达到位置，然后紧固。
（2）拆下校正工具，给上压缩空气，手动吸真空，但取片是否正常，如果PA过高、过低时，关掉真空泵、压缩空气，松开螺栓，将溅镀机地脚升起或落下。
（3）重复1、2步骤，直到PA在传送梁上取片正常，PA位置正确位置。

第2题：

注塑机抓不住盘片，机械手变成手动状态，怎样解决？


正确答案:在机械的界面，AUTO START选择ON，然后ENTER，让机械手做初始化正常开机。

第3题：

选购镀液过滤机的实际流量时,镀槽容积多大就用多大流量的过滤机。()

此题为判断题(对，错)。


参考答案：错误

第4题：

溅镀机抽不上真空有几种可能？


正确答案: （1）检查气管是否有漏气；
（2）清理PA、SA与主仓接触部位；
（3）检查真空泵油位情况；
（4）关闭程序，关闭电源，重新开机。

第5题：

8.0溅镀机触摸屏没溅镀界面不能进入，为什么？


正确答案:如果从溅镀机触摸屏的原文件也不能进入，说明文件丢失。就要重新安装程序。用U盘接入电脑的USB接口处，开启电脑，电脑会自动复制文件，并初始化进入溅镀界面，完毕后拔下U盘，可以准备开机。

第6题：

解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？


正确答案:扫描投影光刻机的概念是利用反射镜系统把有1：1图像的整个掩膜图形投影到硅片表面，其原理是，紫外光线通过一个狭缝聚焦在硅片上，能够获得均匀的光源，掩膜版和带胶硅片被放置在扫描架上，并且一致的通过窄紫外光束对硅片上的光刻胶曝光 由于发生扫描运动，掩膜版图像最终被光刻在硅片表面。
扫描光刻机主要挑战是制造良好的包括硅片上所有芯片的一倍掩膜版。

第7题：

溅镀机发生短路怎样做？


正确答案:溅镀机发生短路应清洁阴极和O型圈。

第8题：

电视机出现前重影,一般是什么原因造成的,怎样解决?


参考答案：通常是因为当地强信号电视台直接窜入电视机引起的，需要转换频道，或加强屏蔽，或提高用户输出电平。

第9题：

溅镀机在运行当中，报警短路并不溅镀应立即做哪些工作？


正确答案:立即停机检查mask是否有银屑脱落，主仓是否清洁。

第10题：

成品片有溅镀针孔是如何产生的？如何解决？


正确答案:溅镀腔内有碎屑，挡住了溅镀的金属层，溅镀完后碎屑脱落，形成针孔；清洁溅镀腔。

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