列出热氧化物在硅片制造的4种用途()、()、场氧化层和()。

题目
填空题
列出热氧化物在硅片制造的4种用途()、()、场氧化层和()。
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相似问题和答案

第1题:

例举硅片制造厂房中的7种玷污源。


正确答案:硅片制造厂房中的七中沾污源:
(1)空气:净化级别标定了净化间的空气质量级别,它是由净化室空气中的颗粒尺寸和密度表征的;
(2)人:人是颗粒的产生者,人员持续不断的进出净化间,是净化间沾污的最大来源;
(3)厂房:为了是半导体制造在一个超洁净的环境中进行,有必要采用系统方法来控制净化间区域的输入和输出;
(4)水:需要大量高质量、超纯去离子水,城市用水含有大量的沾污以致不能用于硅片生产。去离子水是硅片生产中用得最多的化学品
(5)工艺用化学品:为了保证成功的器件成品率和性能,半导体工艺所用的液态化学品必须不含沾污;
(6)工艺气体:气体流经提纯器和气体过滤器以去除杂质和颗粒;
(7)生产设备:用来制造半导体硅片的生产设备是硅片生产中最大的颗粒来源。

第2题:

集成电路中的元件是用()的工艺在同一块硅片上大批制造的,所以其性能比较一致。

  • A、特殊
  • B、专用
  • C、相同
  • D、不同

正确答案:C

第3题:

列出PC,ABS,PC+ABS ,POM ,PMMA主要特性和用途.


正确答案:
       

第4题:

问答题
什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?

正确答案: 硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物,是一种具有热稳定性的金属化合物,并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。难熔金属硅化物的优点和其作用:
1、降低接触电阻,
2、作为金属与有源层的粘合剂。
3、高温稳定性好,抗电迁移性能好4、可直接在多晶硅上淀积难熔金属,经加温处理形成硅化物,工艺与现有硅栅工艺兼容。
解析: 暂无解析

第5题:

光伏产业价值链有四个环节,分别为()、硅片生产、电池制造、组件封装。


正确答案:晶硅制备

第6题:

什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?


正确答案:硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物,是一种具有热稳定性的金属化合物,并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。
难熔金属硅化物的优点和其作用:
1、降低接触电阻
2、作为金属与有源层的粘合剂
3、高温稳定性好,抗电迁移性能好
4、可直接在多晶硅上淀积难熔金属,经加温处理形成硅化物,工艺与现有硅栅工艺兼容

第7题:

单晶硅硅片的制造过程?


正确答案: 首先将用CZ法得到的单晶硅铸模用专用切割机进行切割。目前太阳能电池用的铸模,仍以生产性能高的线形锯切割为主,然后对切割面进行研磨,使其表面平滑。由于切割面是被机械冲击过的,因此会残留结晶变形,使电气特性变坏,因此需用HF+HNO3进行腐蚀,使表面减薄10~20μm的程度。最终得到约为300μm厚的硅片。

第8题:

在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?


正确答案:一、将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中
二、在后续工艺中,保护下面的材料

第9题:

问答题
给出硅片制造中光刻胶的两种目的。

正确答案: 1.将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中。
2.在后续工艺中保护下面的材料。
解析: 暂无解析

第10题:

填空题
芯片硅片制造厂可以分为6个独立的生产区:扩散区、()、刻蚀区、()、()和抛光区。

正确答案: 光刻区,注入区,薄膜区
解析: 暂无解析