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光刻的曝光方式有几种？各有何特点？

题目
问答题
光刻的曝光方式有几种？各有何特点？
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相似问题和答案

第1题：

根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？


正确答案: 根据曝光方式不同光学光刻机主要分为三种：接触式，接近式，投影式。接触式：接触式光刻机是最简单的光刻机，曝光时，掩模压在涂有光刻胶的晶圆片上。主要优点：设备简单，分辨率高，没有衍射效应主要缺点：掩模版与涂有光刻胶的晶圆片直接接触，每次接触都会在晶圆片和掩模版上产生缺陷，降低掩模版使用寿命，成品率低，不适合大规模生产。接触式光刻机一般仅限用于能容忍较高缺陷水平的器件研究或其他方面的应用。接近式：接近式光刻机是掩模版同光刻胶间隔10～50μm，所以缺陷大大减少。主要优点：避免晶圆片与掩模直接接触，缺陷少。主要缺点：分辨率下降，存在衍射效应。
投影式：现今硅片光学曝光最主要的方法是投影式曝光。一般光学系统将光刻版上的图像缩小4x或5x倍，聚焦并与硅片上已有的图形对准后曝光，每次曝光一小部分，曝完一个图形后，硅片移动到下一个曝光位置继续对准曝光。主要优点：有接触式的分辨率，但不产生缺陷常用投影光刻机系统的类型有扫描光刻机、分步重复光刻机和扫描分步重复光刻机等。

第2题：

番茄的整枝方式分为哪几种？各有何特点？


正确答案: 番茄的整枝方式及特点如下：
（1）单干整枝
单干整枝法是目前番茄生产上普遍采用的一种整枝方法。单干整枝每株只留一个主干，把所有侧枝都陆续摘除打掉，主干也留一定果穗数摘心。摘心时一般在最后的一穗果的上部留2～3片叶。单干整枝法的优点为：适合密植栽培，早熟性好，技术简单易掌握；缺点为：用苗量增加，提高了成本，植株易早衰，总产量不高。
（2）双干整枝
双干整枝是在单干整枝的基础上，除留主干外，再选留一个侧枝作为第二主干结果枝。一般应留第一花序下的第一侧枝。双干整枝的双干管理分别与单干整枝的管理相同。双干整枝的优点是：节省种子和育苗费用，植株生长期长，长势旺，结果期长，产量高；缺点是：早期产量低，早熟性差。
（3）改良式单干整枝
在主干进行单干整枝的同时，保留第一花序下的第一侧枝，待其结1～2穗果后留2～3片叶摘心。改良整枝法兼有单干和双干整枝法的优点，既可早熟又能高产，生产上值得推广。

第3题：

滚珠丝杠副在机床上的支承方式有哪几种?各有何特点?


参考答案：常用的支承方式有下列几种:
(1)一端装止推轴承;承载能力小,轴向刚度低,仅适用于短丝杠。
(2)一端装止推轴承,另一端装向心球轴承;适用于长丝杠。
(3)两端装止推轴承,施加预紧拉力,有助于提高传动刚度。
(4)两端装止推轴承及向心球轴承,适用于承受轴向和径向负载的滚珠丝杠。

第4题：

按烟气和蒸汽流向，对流过热器有哪几种流动方式？各有何特点？


正确答案: 对流过热器按烟气和蒸汽的流向通常分为顺流、逆流和混合流等几种布置方案。
（1）顺流布置的过热器，其蒸汽温度高的一端，处于烟气低温区，因而管壁温度较低，比较安全，但是传热性能较差，需要较多的受热面，不经济。
（2）逆流布置的过热器，能够获得最大的转热温差，故传热性能好，可以节省受热面，较经济，但其蒸汽温度高的一端正处于烟气高温区，壁温高，故安全性较差，所以一般不采用纯顺流或逆流的布置方案。
（3）双逆流布置的过热器，其特点是充分发挥了逆流布置传热性能好的优点，又将蒸汽温度的最高端避开了烟气高温区，从而改善了蒸汽高温端管壁的工作条件。而混流布置的过热器的特点则是低温蒸汽段（逆流）有较好的传热性能，而高温蒸汽段（顺流）的管壁温度又不致过高。

第5题：

简述加工中心刀库的选刀原则？常用的选刀方式有哪几种？各有何特点？


正确答案: 刀库选刀方式一般遵循“就近移动”的原则，以节省选刀时间。加工中心常用的选刀方式有：顺序选刀和任意选刀两种
（1）顺序选刀：将刀具按加工顺序依次放入刀库的每一个刀座内，刀具顺序不能搞错，加工时按顺序调刀 特点：刀具的控制及刀库运动都比较简单，但刀具和刀库的利用率低。 适用范围：工件批量较大、品种较少的中、小型自动换刀装置。
（2）任意选刀：预先把刀库中的每把刀具（或刀库）都编上代码，使用时按编码选刀，而不必按加工顺序排列刀具，刀具（或刀库）的编码方式又分为刀具编码、刀座编码、计算机记忆等方式。
①刀具编码方式：采用一种特殊的刀柄结构，对每把刀具进行编码。换刀时通过编码识别装置，找出所需的刀具
特点：同一把刀具可以重复使用，换下的刀具不必放回原刀座，有利于装刀和选刀；但刀柄的结构较复杂。 ②刀座编码方式：将刀库中各刀座预先编码，使刀具相对于刀库的位置固定，使用时可通过输入刀座号来选择所需的刀具
特点：简化了刀柄的结构，刀具识别装置可不受刀柄尺寸的限制；但用过的刀具必须放回原来的刀座。
③计算机记忆方式：刀具号和存刀位置或刀座号都记忆在计算机的存储器中，无论刀具在何处，都始终记忆其轨迹，因此刀具可任意取出和任意送回
特点：刀柄结构简单，通用性好，刀座也不必编码；但刀库上必须设一个机械原点或零点。

第6题：

变压器有几种冷却方式？各有何特点？


正确答案:方式：
（1）油浸自冷式；
（2）油浸风冷式；
（3）强迫油循环。
特点：油浸自冷式就是以油的自然对流作用将热量带到油箱壁和散热管，然后依靠空气的对流传导将热量散发，它没有特别的冷却设备。
油浸风冷式是在油浸自冷式的基础上，在油箱壁或散热管上加装风扇，利用吹风机帮助冷却。 强迫油循环冷却方式，又分强油风冷和强油水冷两种。它是把变压器中的油，利用油泵打入油冷却器后再复回油箱。

第7题：

胎盘剥离的征象是什么？娩出的方式有哪几种，各有何特点？


正确答案:胎盘剥离征象：
1.子宫体变硬呈球形，宫底上升至脐上
2.阴道少量流血
3.露于阴道口的脐带自行向下延伸
4.在耻骨联合上方压子宫下段时，外露于阴道口的脐带不见回缩
娩出方式有：
1.面先娩出：特点是胎盘先娩出，而后才有少量的血液及血专长排出
2.面先娩出：先有阴道流血，且量较多，而后胎盘娩出

第8题：

隧道出碴运输的方式有哪几种，各有何特点?


参考答案：无轨与有轨。前者效率高，但污染大;后者相反

第9题：

什么叫高炉富氧鼓风？富氧鼓风有几种加氧方式？各有何特点？


正确答案: 高炉富氧鼓风是往高炉鼓风中加入工业氧（一般含氧85~99.5%），使鼓风含氧超过大气含量，其目的是提高冶炼强度以增加高炉产量和强化喷吹燃料在风口前燃烧。
常用的富氧方式有3种：
（1）将氧气厂送来的高压氧气经部分减压后，加入冷风管道，经热风炉预热再送进高炉；
（2）低压制氧机的氧气（或低纯度氧气）送到鼓风机吸入口混合，经风机加压后送至高炉；
（3）利用氧煤枪或氧煤燃烧器，将氧气直接加入高炉风口。
第（1）种供氧方式可远距离输送，氧压高，输送管路直径可适当缩小，在放风阀前加入，易于连锁控制，休减风前先停氧，保证供氧安全，但热风炉系统一般存在一定的漏风率，特别是中小高炉漏风率较高，氧气损失较多。
第（2）种供氧方式的动力消耗最省，它可低压输至鼓风机吸入口，操作控制可全部由鼓风机系统管理，但氧气漏损较多。
第（3）种方式是较经济的用氧方法，旨在提高煤枪出口区域的局部氧浓度，改善氧煤混合，提高煤粉燃烧率，扩大喷吹量；其缺点是供氧管线要引到风口平台，安全防护控制措施较繁琐，没经过热风炉预热的氧气冷却煤粉的作用大于水冷及空气冷却效果，又存在不利于燃烧的一面。

第10题：

渐增模型有几种？各有何特点？


正确答案: 渐增模型是瀑布模型的变种，它有两类：
⑴增量构造模型。它在瀑布模型基础上，对一些阶段进行整体开发，对另一些阶段进行增量开发。也就是说在前面的开发阶段按瀑布模型进行整体开发，后面的开发阶段按增量方式开发。
⑵演化提交模型。它在瀑布模型基础上，所有阶段都进行增量开发，也就是说不仅是增量开发，也是增量提交。

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