什么是光敏度,移相掩膜,驻波效应?

题目
问答题
什么是光敏度,移相掩膜,驻波效应?
参考答案和解析
正确答案: 光敏度:指单位面积上入射的使光刻胶全部发生反应的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜:基本原理是在光掩模的某些透明图形上增加或减少一个透明的介质层,称移相器,使光波通过这个介质层后产生180°的位相差,与邻近透明区域透过的光波产生干涉,抵消图形边缘的光衍射效应,从而提高图形曝光分辨率
驻波效应:在微细图形光刻过程中,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光时入射光将在各层膜的界面处发生多次反射,在光致抗蚀剂中形成驻波。
解析: 暂无解析
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相似问题和答案

第1题:

什么是驻波比?为什么要进行驻波比的测试?


正确答案: 天线驻波比实际上是天线、馈线和设备间的匹配和不匹配程度的量度,如果沿着线路测量电压或电流,将会出现电压或电流的最大值和最小值,这个最大值和最小值称为驻波,最大值和最小值的比值就叫驻波比。驻波比=1+反射系数/(1-反射系数)。通过测量可以及时发现天线及设备间匹配状态以得到电台的最佳运用效果。

第2题:

移频器有什么实用价值?移频与移相有什么不同?


正确答案: 移频就是将声信号的频率搬移,使其音高有所变化.这自然也是一种失真,但这种失真有时或在某种情况下会得到意想不到的特殊效果.
如将男声录音后快速重放,声调就会变尖,听起来有女声的效果;反之,女声也可以摸仿男声,大人可以模仿童音等,但这些处理毕竟是十分初级的.自移频器数字化以来,移频质量和功能已有长足的演进,从而可频繁地参与对声部信号进行特殊的修饰和处理.它可以连续地将原音调高8度音(即频率增加或减少一倍),并可预置数个不同的调变参数,调控时十分得心应手.例如演唱时将原音移频成多个声部,然后将不同音调的声部混合起来,形成合声效果;又如把各个声部在时间上加以错开(利用时域处理),更可获得轮唱的特殊效果.
移频扩音是会场扩音中为防止啸叫而最早开发的一种移频技术,众所周知,教室或会场扩音时,由于室内存在着声反馈,当满足正反馈条件时,会产生啸叫,使扩音无法进行.采用移频方法是解决反馈振荡的有效措施之一,约可提高3~6dB的传声增益.
它的原理是设法在扩音机中将输入的音频信号偏移几Hz的频率,或移过几度的相位,使扬声器发出的声响不再与原声重合,从而可使扩音机的增益在一定程度上提升而不会产生振荡,能有效地解决啸叫问题.

第3题:

带电阻负载的三相桥式全控整流电路A角的移相范围是90度。()


参考答案:×

第4题:

双焦眼镜主片为负焦度时,主片底向下的棱镜效应与子片底向下的棱镜效应相叠加,使像移现象()。

  • A、改变
  • B、消失
  • C、减轻
  • D、加重

正确答案:D

第5题:

电阻性负载三相桥式半控整流电路,脉冲移相范围是()度。


正确答案:180

第6题:

什么是光刻中常见的表面反射和驻波效应?如何解决?


正确答案: 表面反射——穿过光刻胶的光会从晶圆片表面反射出来,从而改变投入光刻胶的光学能量。当晶圆片表面有高度差时,表面反射会导致线条的缺失,无法控制图形。针对表面反射效应的解决办法:①改变沉积速率以控制薄膜的反射率②避免薄膜表面高度差,表面平坦化处理(CMP)③光刻胶下涂覆抗反射的聚合物(Anti-reflectcoating,ARC.
驻波效应——在微细图形光刻时,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光时在基底表面产生的反射光和入射光相互干涉而形成驻波。抗蚀剂在曝光过程中由于其折射率和基底材料折射率不匹配,入射光将在各层膜的界面处发生多次反射,在光致抗蚀剂中形成驻波。应用抗反射涂层(ARC.可以完全消除驻波图形。

第7题:

在进行空间分析时,经常设置Mask(掩膜),设置掩膜的作用是什么?


正确答案:掩膜是利用遮盖或隐蔽要素的视觉处理技术来增强地图表现力的一种手段,让地图更加清晰,经常用它来处理多个图层由于叠放而出现压盖冲突的情况。掩膜的实质是包含一些多边形要素的要素类,生成掩膜之后,可用它来掩盖某个或某几个图层,使其在掩膜的位置不显示。

第8题:

红外接收光敏器件是一种专门设计的具有相当大吸收面积的高灵敏度的()。

  • A、晶体管
  • B、光敏二极管
  • C、稳压管
  • D、场效应管

正确答案:A

第9题:

什么是移相触发?其主要缺点是什么?


正确答案: 移相触发就是改变晶闸管每周期导通的起始点即触发延迟角的大小,达到改变输出电压和功率的目的。移相触发的主要缺点是使电路中出现包含高次谐波的缺角正弦波形,在换流时刻会出现缺口“毛刺”,造成电源电压波形畸变和高频电磁波辐射干扰,大触发延迟角运行时,功率因数较低。

第10题:

键相器探头是依据()原理工作,应安装于径向位置。

  • A、压电效应
  • B、光电效应
  • C、电磁感应
  • D、光敏效应

正确答案:C