对
错
第1题:
第2题:
鼓泡式蚀刻液的酸性更强
鼓泡式蚀刻通入空气
鼓泡式蚀刻通入氧气
第3题:
晶体硅片蚀刻清洗的生产工艺有酸性蚀刻和碱性蚀刻两种,其中酸性蚀刻是采用()和硝酸的混合溶液,醋酸和磷酸当缓冲剂,一般去除约10-20μm厚的表面层。
第4题:
浸泡式蚀刻
鼓泡式蚀刻
泼溅式蚀刻
喷淋式蚀刻
第5题:
氯化铜
氯化钠
氯化铵
氯化氢
第6题:
第7题:
第8题:
第9题:
第10题:
判断题碱性氯化铜蚀刻液pH值过低,氮水浓度太低,蚀刻速率变慢。A 对B 错
填空题碱性蚀刻中蚀刻不足可能是喷淋压力不足造成,其解决方式为()。
多选题酸性氯化铜蚀刻若操作体系的温度太高,会使()。A盐酸挥发B抗蚀层破坏C溶液组分比例失调D无影响
判断题碱性氯化铜蚀刻液的再生的最常用的方法是空气再生法。A 对B 错
多选题下列为碱性氯化铜蚀刻液特点的有()。A蚀刻速率快B蚀刻速率比较容易控制C溶铜量大D再生容易
单选题碱性氯化铜蚀刻液一定可用于下列何种抗蚀层()。A 锡B 干膜C 油墨D 都不是
多选题蚀刻液的种类有()。A酸性蚀刻液B碱性蚀刻液C中性蚀刻液D不知道
判断题湿法蚀刻时蚀刻液的腐蚀是各向同性的,腐蚀发生在和溶液接触的各个方面。A 对B 错
单选题碱性氯化铜的蚀刻液密度太低,会加大侧蚀量,这是因为()。A 蚀刻液的密度太低,造成温度过低,反应速度过慢B 蚀刻液的密度太低,溶液中的二价铜离子含量偏低C 蚀刻液的密度太低,即溶液的pH值太低D 蚀刻液的密度太低,溶液中的氯化铵含量太少
判断题酸性氯化铜蚀刻液的特点是蚀刻速率恒定,容易控制。A 对B 错