离子注入与热扩散相比,哪个横向效应小()

题目
单选题
离子注入与热扩散相比,哪个横向效应小()
A

 离子注入

B

 热扩散

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第1题:

双桨船的推力偏心效应横向力与船舶的长宽比有关,即.

A、长宽比大的船舶,推力偏心效应横向力较大

B、长宽比小的船舶,推力偏心效应横向力较小

C、长宽比小的船舶,推力偏心效应横向力较大

D、以上说法都错误


参考答案:C

第2题:

例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。


正确答案:离子注入的优点:
(1)精确控制杂质含量和分布
(2)很好的杂质均匀性
(3)对杂质穿透深度有很好的控制
(4)产生单一离子束
(5)低温工艺
(6)注入的离子能穿透薄膜
(7)无固溶度极限
离子注入的缺点:
(1)高能杂质离子轰击硅原子将对晶体结构产生损伤
(2)注入设备的复杂性

第3题:

石英晶体测量加速度基于哪个物理效应()。

A、热电效应

B、压电效应

C、横向效应

D、霍尔效应


参考答案:B

第4题:

长期劳动力需求调整与短期相比幅度更大,是因为下列哪个效应也开始起作用?()

  • A、规模效应
  • B、收入效应
  • C、替代效应
  • D、外在化效应

正确答案:A

第5题:

热退火用于消除离子注入造成的损伤,温度要低于杂质热扩散的温度,然而,杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象,解释其原因。


正确答案: 离子注入后会对晶格造成简单晶格损伤和非晶层形成;损伤晶体空位密度大于非损伤晶体,且存在大量间隙原子和其他缺陷,使扩散系数增大,扩散效应增强;故,虽然热退火温度低于热扩散温度,但杂质的扩散也是非常明显的,出现高斯展宽与拖尾现象。

第6题:

以下叙述哪个为正确()

  • A、同离子效应与盐效应的效果是相同的
  • B、同离子效应与盐效应的效果是相反的
  • C、盐效应与同离子效应相比影响要小的多
  • D、盐效应与同离子效应相比影响要大的多
  • E、以上说法都不正确

正确答案:B,C

第7题:

什么是离子注入中常发生的沟道效应(Channeling)和临界角?怎样避免沟道效应?


正确答案: 沟道效应:对晶体靶进行离子注入,当离子速度方向平行于主晶轴时,将很少受到核碰撞,离子将沿沟道运动,注入深度很深。由于沟道效应,使注入离子浓度的分布产生很长的拖尾,对于轻原子注入到重原子靶时,拖尾效应尤其明显。解决办法:A.偏离轴注入,采用7°的倾斜角,但并不能完全消除沟道效应。B.注入前破坏晶格结构,使用Si、F或Ar离子注入完成硅的预非晶化。C.使用薄的屏蔽氧化层,使离子进入晶体前的速度方向无序化,但会将部分氧注入晶体。(1)偏轴注入:一般选取5~7倾角,入射能量越小,所需倾角越大(2)衬底非晶化预处理:进行一次高剂量Ar+注入,使硅表面非晶化(3)非晶层散射:表面生长200~250Å二氧化硅(ScreenOxidE.,使入射离子进入硅晶体前方向无序化(4)注入杂质的自非晶化效应:重杂质(As),高剂量注入。

第8题:

长期劳动力需求调整与短期相比幅度更大,是因为下列哪个效应也开始起作用?( )

A.规模效应

B.收入效应

C.替代效应

D.外在化效应


参考答案:A

第9题:

早期,研究离子注入技术是用()来进行的。

  • A、重离子加速器
  • B、热扩散炉
  • C、质子分析仪
  • D、轻离子分析器

正确答案:A

第10题:

铝合金与钢比,热扩散范围大二倍,又由于铝材料屈服强度低,所以变形比钢小。


正确答案:错误