简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性?

题目

简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性?

如果没有搜索结果或未解决您的问题,请直接 联系老师 获取答案。
相似问题和答案

第1题:

B型超声诊断仪制造工艺采用()

  • A、光刻
  • B、声刻
  • C、雕刻
  • D、透镜

正确答案:A

第2题:

简述在芯片制造中对金属电极材料有什么要求?


正确答案: 1、能很好的阻挡材料扩散;
2、高电导率,低欧姆接触电阻;
3、在半导体和金属之间有很好的附着能力;
4、抗电迁能力强;
5、在很薄和高温下具有很好的稳定性;
6、抗侵蚀和抗氧化性好。
7、具有高的导电率和纯度。
8、与下层存底(通常是二氧化硅或氮化硅)具有良好的粘附性。
9、与半导体材料连接时接触电阻低。
10、能够淀积出均匀而且没有“空洞”的薄膜,易于填充通孔。
11、易于光刻和刻蚀,容易制备出精细图形。
12、很好的耐腐蚀性。
13、在处理和应用过程中具有长期的稳定性。

第3题:

()又可分为芯片制造工艺和电子封装工艺两个部分。

A.微电子制造工艺

B.电子制造工艺

C.材料制造工艺

D.制造工艺


参考答案:A

第4题:

简述蛋白芯片的原理及应用。


正确答案: 蛋白质芯片的基本原理是采用原位合成、机械点样或共价结合的等方法将多肽、蛋白、酶、抗原、抗体固定于固相介质上形成的生物分子点阵,在待分析样品中的生物分子与蛋白质芯片的探针分子发生杂交或相互作用或其他分离方式分离后,利用激光共聚焦显微扫描仪对杂交信号进行高通量检测和分析。蛋白质芯片是将整个蛋白质水平的相关生化分析过程集成于芯片表面,从而实现对多肽、蛋白质及其他生物成份进行高通量检测。
蛋白质芯片技术是一种快捷、高效、高通量、并行、微型化和自动化的蛋白质分析技术,适用于分析包括组织、细胞系、体液在内的多种生物样品能分析包含针对信号传导、癌症、细胞周期调控、细胞结构、凋亡和神经生物学等广泛的生物功能的相关蛋白,灵敏度高达pg/ml。

第5题:

简述光刻工艺流程。


正确答案:涂光刻胶→前烘→曝光→显影→坚膜→刻蚀→剥离去膜→清洗

第6题:

在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?


正确答案:一、将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中
二、在后续工艺中,保护下面的材料

第7题:

在液晶器件制造的工艺辅助材料中,切割刀轮的作用是()。

  • A、在玻璃表面划出刀痕
  • B、割断玻璃
  • C、在玻璃上做光刻标记
  • D、磨边

正确答案:A

第8题:

LIGA (光刻)工艺制造微电子芯片属于精密特种加工。()

此题为判断题(对,错)。


答案:是

第9题:

试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。


正确答案:在4次光刻中,第二次光刻有源岛和第三次光刻的源漏电极合为一次光刻,为4次光刻的第二次光刻,光刻次数减少,但工艺难度大大增大。
第二次光刻的工艺流程概括为:连续沉积薄膜→涂胶→多段式调整掩膜版曝光→显影→湿法刻蚀→干法刻蚀及灰化→再湿刻和再干法刻蚀。

第10题:

简述快速原型制造(RPM)工艺方法中,熔融沉积成形(FDM)的主要工作原理和工艺过程?


正确答案: 将热熔性材料(ABS、尼龙或蜡)通过喷头加热器熔化;
喷头沿零件截面轮廓和填充轨迹运动,同时将熔化的材料挤出;
材料迅速凝固冷却后,与周围的材料凝结形成一个层面;
然后将第二个层面用同样的方法建造出来,并与前一个层面熔结在一起,如此层层堆积而获得一个三维实体。(不需激光系统)。