下列不属于离子束加工技术的是（）。A、离子束刻蚀B、离子束焊接C、离子注入技术D、离子束镀膜技术

题目

下列不属于离子束加工技术的是（）。

A、离子束刻蚀
B、离子束焊接
C、离子注入技术
D、离子束镀膜技术

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第1题：

离子束加工包括( )。

A.离子束溅射去除加工

B.离子束溅射镀膜

C.离子束溅射注入

D.离子束焊接

参考答案：ABC

第2题：

辐射加工技术一般包含哪些（）。

A、辐射交联
B、离子束注入
C、离子掺杂
D、辐照育种

正确答案:A,B,C

第3题：

离子束加工技术(名词解释)

参考答案：离子束加工进行中，离子束溅射到材料表面时会发生撞击效应、溅射效应和注入效应。其中，当具有一定动能的离子束斜射到材料表面撞击出原子时，发生的是撞击效应和溅射效应;当离子能量足够大并垂直于工件表面撞击，离子钻入工件表面层，发生的是注入效应。

第4题：

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）

A、电子束曝光技术
B、离子束曝光技术
C、X射线曝光技术

正确答案:B

第5题：

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

A、干法刻蚀、湿法刻蚀
B、离子束刻蚀、激光刻蚀
C、溅射加工、直写加工
D、以上都可以

正确答案:A

第6题：

激光加工与离子束加工要求有真空装置。

正确答案:错误

第7题：

下列特种加工方法中，可以进行非接触远距离加工是（）。

A、电火花加工
B、电解加工
C、激光加工
D、超声加工
E、水射流加工
F、电子束加工
G、离子束加工

正确答案:C

第8题：

微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。

A、光刻

B、电子束

C、离子束加工

D、激光束加工

参考答案：ABCD

第9题：

简述电子束、离子束、激光束加工技术的工作原理和适用的加工范围？各具有哪些特点？

正确答案:电子束加工是在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高（106～109W/cm²）的电子束，以极高的速度冲击倒工件表面积下的区域上，在极短的时间内，其能量的大部分转变为热能，使被冲击部分的工件材料达到高温，使材料局部熔化和汽化，抛出工件表面。特点：
1.束径小、能量密度高
2.采用非接触加工
3.被加工对象范围广
4.电子束能量高，加工速度快、效率高；
5.易于实现自动化
6.电子束加工需要一套专用设备和真空系统，价格较贵。
电子束加工的应用范围很广，可用打各种孔、切槽、焊接、光刻、表面改性等工件。它既是一种精密加工方法，又是一种重要的微细加工方法。离子束加工是在真空下，将离子源产生的离子束经过加速聚焦，经过加速的离子具有很大的能量，离子束打到工件表面上，发生撞击效应、溅射效应和注入效应，从而实现的加工。特点：
1.加工精度和表面质量高
2.加工材料广泛
3.加工方法丰富
4.性能好，易于实现自动化
5.应用范围广泛；
离子束的束斑直径和能量密度，直径小、能量密度大的离子束用于去除加工，直径大、能量密度较低时适于镀膜、刻蚀，而直径大、能量强的离子束适于注入加工
当能量密度极高的激光束照射在加工表面上时，一部分从材料表面反射，一部分透人材料内，其光能被吸收，并转换为热能，使照射区域的温度迅速升高、熔化、气化和熔融溅出而去除材料。特点：
1.加工精度高
2.加工材料范围广
3.加工性能好
4.加工速度快、效率高
5.价格昂贵。应用范围广泛，可归纳为激光去除加工、激光表面改性和激光焊接等几类，具体的加工方法有打孔、切割、微调、动平衡、刻蚀、固态相变、合金化、涂敷、熔凝、焊接、激光存储（光盘）等。

第10题：

离子束加工原理

正确答案: 离子源产生的离子经过电场加速和聚焦，获得一定速度投射到材料表面，产生溅射效应或注入效应。对于工件的不同要求，离子束加工可分为以下四类：A.离子刻蚀；B.离子溅射沉积；C.离子镀；D.离子注入。

下列不属于离子束加工技术的是（）。

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