光刻加工主要用于()。

题目
单选题
光刻加工主要用于()。
A

加工超硬材料

B

加工工程陶瓷

C

制作集成电路

D

制作微型模具

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第1题:

可用光刻-电铸-模铸复合成形技术加工的材料有下面那种?()

A、金属

B、陶瓷

C、玻璃

D、塑料


答案:AD

第2题:

光刻电铸的最大加工厚度为()μm。

  • A、300
  • B、400
  • C、500
  • D、600

正确答案:C

第3题:

下列切削加工中属于超精密加工的是( )。

A.金刚石超精密车削

B.光刻加工

C.超声研磨

D.激光加工


参考答案ABC  

第4题:

微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。


正确答案:超微机械加工;封接技术;分子装配技术

第5题:

晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。

  • A、除去光刻胶中剩余的溶剂
  • B、增强光刻胶对晶片表面的附着力
  • C、提高光刻胶的抗刻蚀能力
  • D、有利于以后的去胶工序
  • E、减少光刻胶的缺陷

正确答案:A,B,C,E

第6题:

LIGA (光刻)工艺制造微电子芯片属于精密特种加工。()

此题为判断题(对,错)。


答案:是

第7题:

下列切削加工中属于超精密加工的是()。

  • A、金刚石超精密车削
  • B、光刻加工
  • C、超声研磨
  • D、激光加工

正确答案:A,B,C

第8题:

微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。

A、光刻

B、电子束

C、离子束加工

D、激光束加工


参考答案:ABCD

第9题:

试述光刻加工的主要阶段?


正确答案: 光刻加工可分为两个加工阶段,第一阶段为原版制作,生成工作原版或工作掩膜,为光刻加工时用;第二阶段为光刻。

第10题:

粗加工复合循环指令G72主要用于加工,G76主要用于加工()。


正确答案:端面车削、螺纹切削