列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。

题目
问答题
列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。
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相似问题和答案

第1题:

试分析在背沟道阻挡结构的第二次光刻中,采用了背曝光为什么还要采用一次曝光?直接使用一次曝光不行吗?


正确答案:背曝光是一种自对准的光刻工艺,不需要掩膜版,利用栅线和栅极的金属图形做掩膜进行曝光的工艺。栅线、栅极、存储电容等有金属薄膜的地方上面的光刻胶都没有曝光,其他没有遮挡的地方都被背曝光的紫外光照到,光刻胶的性质发生改变。需要再用一次曝光,利用掩膜版掩膜把栅线和存储电容上面的光刻胶被一次曝光的紫外光照射到,留下阻挡层图像。
为了形成精确对准且能够恰好在栅极上面的i/sSiNx阻挡层小图形,采用连续两次曝光,先背面曝光再一次曝光相结合的光刻工艺。仅采用一次曝光,对版精度和图形的大小都要受到限制,工艺难度大。

第2题:

光刻加工的工艺过程为()

  • A、①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
  • B、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
  • C、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

正确答案:B

第3题:

在深紫外曝光中,需要使用()光刻胶。

  • A、DQN
  • B、CA
  • C、ARC
  • D、PMMA

正确答案:A

第4题:

用g线和i线进行曝光时通常使用哪种光刻胶()。

  • A、ARC
  • B、HMDS
  • C、正胶
  • D、负胶

正确答案:C

第5题:

下列关于AAS与UV-VIS区别的叙述中,错误的是()。

  • A、AAS法是原子吸收线状光谱;UV-VIS法是分子吸收带状光谱
  • B、AAS法是连续光源(钨灯、氘灯);UV-VIS法是锐线光源(空心阴极灯)
  • C、AAS法仪器排列顺序为锐线光源→原子化器→单色器→检测器
  • D、UV-VIS法仪器排列顺序为光源→单色器→吸收池→检测器

正确答案:B

第6题:

下面对于CTP技术的描述中不正确的是()。

  • A、CTP所采用的激光光源按其光谱特性可分为可见光源、红外光源、紫外线光源
  • B、采用CTP技术可有效缩短印刷准备时间,充分提高印刷效率
  • C、热敏CTP版材可以实现明室操作印刷包装城
  • D、UV-CTP版材可采用紫外光曝光,因此不属于CTP版材

正确答案:D

第7题:

紫外线曝光测试计是测量()

  • A、光源种类
  • B、光波长度
  • C、紫外线量
  • D、UV印墨

正确答案:C

第8题:

在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。

  • A、CA光刻胶对深紫外光吸收小
  • B、CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
  • C、CA光刻胶在显影液中的可溶性强
  • D、有较高的光敏度
  • E、有较高的对比度

正确答案:A,B,C,D,E

第9题:

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。


正确答案:汞灯,高压汞灯,电流通过装有氙汞气体的管子产生电弧放电,这个电弧发射出一个特征光谱,包括240纳米到500纳米之间有用的紫外辐射准分子激光,准分子是不稳定分子 是有惰性气体原子和卤素构成 只存在与准稳定激发态。

第10题:

在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,CA的含义是()。

  • A、化学增强
  • B、化学减弱
  • C、厚度增加
  • D、厚度减少

正确答案:A