为了避免短沟道效应,可采用按比例缩小法则,当MOSFET的沟道长度缩短一半时,其沟道宽度应(),栅氧化层厚度应(),源、

题目
填空题
为了避免短沟道效应,可采用按比例缩小法则,当MOSFET的沟道长度缩短一半时,其沟道宽度应(),栅氧化层厚度应(),源、漏区结深应(),衬底掺杂浓度应()。
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第1题:

增强型绝缘栅场效应管,当栅极g与源极s之间电压为零时()。

A、不能形成导电沟道

B、漏极电压为零

C、能够形成导电沟道

D、漏极电流不为零


参考答案:A

第2题:

什么是离子注入中常发生的沟道效应(Channeling)和临界角?怎样避免沟道效应?


正确答案: 沟道效应:对晶体靶进行离子注入,当离子速度方向平行于主晶轴时,将很少受到核碰撞,离子将沿沟道运动,注入深度很深。由于沟道效应,使注入离子浓度的分布产生很长的拖尾,对于轻原子注入到重原子靶时,拖尾效应尤其明显。解决办法:A.偏离轴注入,采用7°的倾斜角,但并不能完全消除沟道效应。B.注入前破坏晶格结构,使用Si、F或Ar离子注入完成硅的预非晶化。C.使用薄的屏蔽氧化层,使离子进入晶体前的速度方向无序化,但会将部分氧注入晶体。(1)偏轴注入:一般选取5~7倾角,入射能量越小,所需倾角越大(2)衬底非晶化预处理:进行一次高剂量Ar+注入,使硅表面非晶化(3)非晶层散射:表面生长200~250Å二氧化硅(ScreenOxidE.,使入射离子进入硅晶体前方向无序化(4)注入杂质的自非晶化效应:重杂质(As),高剂量注入。

第3题:

按导电沟道不同,电力MOSFET可分为哪两项?( )

A、耗尽型

B、增强型

C、P沟道

D、N沟道


参考答案:CD

第4题:

场效应管从结构上可分为两大类:()、MOS;根据导电沟道的不同又可分为N沟道、P沟道两类;对于MOSFET,根据栅源电压为零时是否存在导电沟道,又可分为两种:耗尽型、()。


正确答案:结型;增强型

第5题:

使结型场效应管ID=0的临界栅源电压称为(夹断)电压,N沟道JFET的UGS(off)()0,P沟道JFET的UGS(off)()0。


正确答案:<;>

第6题:

电力MOSFET的种类和结构繁多,按导电沟道可分为______和______。当栅极电压为零源漏之间就存在导电沟道的称为______;对于N(P)沟道器件,栅极电压大于(小于)零时才存在导电沟道的称为______。在电力MOSFET中,主要是______。


参考答案:P沟道;N沟道;耗尽型;增强型;N沟道增强型

第7题:

对沟道效应,沿着主晶轴方向入射时,角分布半宽度的典型值为多少。


正确答案:零点几度到几度之间。

第8题:

场效应管有结型和绝缘栅型两类,每一类中又分()两种。

A、N沟道和P沟道

B、H沟道和P沟道

C、N沟道和H沟道

D、Y沟道和H沟道


参考答案:A

第9题:

当栅源电压等于零时,增强型FET()导电沟道,结型FET的沟道电阻()。


正确答案:无;最小

第10题:

EMOS管存在导电沟道时,栅源之间的电压必定大于零。


正确答案:错误