第1题:
什么叫光刻?光刻工艺质量的基本要求是什么?
第2题:
简述光刻工艺流程。
第3题:
简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性?
第4题:
第5题:
试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。
第6题:
光刻工艺一般都要经过涂胶、()、曝光、()、坚膜、腐蚀、()等步骤。
第7题:
简述采用5次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程的难点与特点。
第8题:
简述采用9次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程技术关键。
第9题:
简述工艺规程的设计步骤/简述工艺规程的设计内容。
第10题: