问答题叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？

题目

问答题

叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？

参考答案和解析

正确答案：基本特征：体积小、重量轻、能耗低、性能稳定；有利于大批量生产，降低生产成本；惯性小、谐振频率高、响应时间短；集约高技术成果，附加价值高等。
目前微型机械加工技术主要有基于从半导体集成电路微细加工工艺中发展起来的硅平面加工工艺和体加工工艺，80年代中期以后在LIGA加工、准LIGA加工、超微细机械加工、微细电火花加工、等离子体加工、激光加工、离子束加工、电子束加工、快速原型制造以及健合技术等微细加工工艺方面取得了相当大的进展。

解析：暂无解析

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第1题：

机电一体化系统的发展主要表现在()。

A模块化

B智能化

C绿色化

D微型化

参考答案：ABCD

第2题：

对于传感器快速发展的基础，MEMS表示（）

A.微型存储器技术

B.多设备的存储系统

C.微电子机械加工技术

参考答案：C

第3题：

微型机电系统(MicroElectroMechanicalSystems,MEMS)是指集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理、控制电路、接口、通讯和电源等于一体的()或综合体。

答案：微型器件

第4题：

无线传感器体积微型化主要依赖以下哪些技术（）。

A、超大规模集成电路技术
B、能耗控制及技术
C、无线网络技术
D、微电子机械系统技术
E、传感器技术

正确答案:A,D

第5题：

角位移测量模块采MEMS微型角度传感器以及数字化信号调理电路。（）

正确答案:正确

第6题：

微细机械加工的关键技术有哪些?()

A.微系统建模技术

B.微细加工技术

C.微型机械组装和封装技术

D.自组织成型工艺

正确答案:BCD

第7题：

将微型机械与微型电子器件或微型光电器件结合起来,便得到()。

A、机电系统

B、小型机电系统

C、微机电系统

D、纳机电系统

答案：C

第8题：

以下选项中不属于微型装置和系统(功能部件)的是()。

A、微型电主轴

B、微型工作台

C、微型液压系统

D、微型连杆

答案：D

第9题：

角位移传感器就是用MEMS微型加速度传感器、MEMS微型角速度传感器以及数字化信号调理电路设计角位移测量模块。通过对游梁角位移的测量实现了光杆位移的实时监测，同步测量载荷即可得到光杆示功图。

正确答案:正确

第10题：

微型计算机的硬件系统包括哪些主要构成部分？

正确答案:微型计算机硬件系统包括控制器、运算器、储存设备、输入设备、输出设备等五个部分组成。

叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？

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