CVD是利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底(硅)表面上,并淀积成薄膜。

题目
判断题
CVD是利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底(硅)表面上,并淀积成薄膜。
A

B

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相似问题和答案

第1题:

初中化学《分子结构》
一、考题回顾
题目来源:1月5日上午 四川省成都面试考题
试讲题目:
1.题目:分子结构
2.内容:
由分子构成的物质在发生物理变化时,分子本身没有发生变化。例如,水在蒸发时,它只是由液态变成了气态,而水分子没有变成其他分子,它的化学性质也没有改变;当品红溶于水时,品红分子和水分子都没有变成其他分子,它们的化学性质也各自保持不变。由分子构成的物质在发生化学变化时,一种物质的分子会变成其他物质的分子。例如,我们在实验室用过氧化氢分解制取氧气时,过氧化氢分子就变成了水分子和氧分子,水分子和氧分子是与过氧化氢不同的分子;再如,氢气在氯气中燃烧时,氢分子和氯分子都发生了变化,生成了氯化氢分子,氢气和氯气的性质不再保持。可见,由分子构成的物质,分子是保持其化学性质的最小粒子。
分子是由原子构成的。有些分子由同种原子构成,如1个氧分子是由2个氧原子构成的,1个氢分子是由2个氢原子构成的;大多数分子由两种或两种以上原子构成,如1个二氧化碳分子是由1个碳原子和2个氧原子构成的,1个氨分子是由1个氮原子和3个氢原子构成的(如图3-5)。



图3-5 几种分子的模型
在化学变化中,分子可以分成原子,原子又可以结合成新的分子。例如,由过氧化氢分解制取氧气时,过氧化氢分子分解,生成水分子和氧分子;再如,加热红色的氧化汞粉末时,氧化汞分子会分解成氧原子和汞原子,每2个氧原子结合成1个氧分子,许多汞原子聚集成金属汞(如图3-6)。可见,在化学变化中,分子的种类可以发生变化,而原子的种类不会发生变化,因此,原子是化学变化中的最小粒子。



图3-6 氧化汞分子分解示意图
3.基本要求:
(1)讲解分子的结构与组成。
(2)培养学生从微观的角度去认识化学变化。
(3)讲课时配合相应的板书。
(4)如需要媒体辅助教学演示即可。
答辩题目:
1.在原子结构中决定元素种类的是什么?决定元素化学性质的是什么?
2.简要评价你本节课的优缺点。
二、考题解析
【教学过程】
环节一:情景引入
【提出问题】到了夏天,经常下过雨之后地面很快就干了,是为什么?
【学生回答】地面温度高,水很快由液态水蒸发成气态水。
【提出问题】蒸发是一种常见的物理现象,那从微观上怎么去解释物质由液态到气态的变化呢?
环节二:新课教学
【演示实验】动画演示液态水蒸发成气态水的过程,学生观察动画中粒子的变化。
【学生回答】水在蒸发时,它只是由液态变成了气态,而水分子没有变成其他分子,它的化学性质也没有改变
【提出问题】除了蒸发之外,还有哪些现象分子也不会发生变化?
【学生回答】糖的溶解、品红的扩散等。
【提出问题】分子构成的物质在发生化学变化时,分子发生变化吗?保持物质化学性质的微粒是什么?
【学生回答,教师总结】由分子构成的物质在发生化学变化时,一种物质的分子会变成其他物质的分子。例如,我们在实验室用过氧化氢分解制取氧气时,过氧化氢分子就变成了水分子和氧分子,水分子和氧分子是与过氧化氢不同的分子。可见,由分子构成的物质,分子是保持其化学性质的最小粒子。
【视频演示】几种常见的分子结构图,如氧分子、氢分子、二氧化碳分子,观察分子是由什么组成的?
【学生回答,教师补充】分子是由原子构成的。有些分子由同种原子构成,如1个氧分子是由2个氧原子构成的,1个氢分子是由2个氢原子构成的;大多数分子由两种或两种以上原子构成,如1个二氧化碳分子是由1个碳原子和2个氧原子构成的。
【视频演示】氧化汞分子分解示意图。
【提出问题】在分解过程中,发生了何种变化?
【学生回答】氧化汞分子会分解成氧原子和汞原子,每2个氧原子结合成1个氧分子,许多汞原子聚集成金属汞。
【教师讲解】在化学变化中,分子可以分成原子,原子又可以结合成新的分子。可见,在化学变化中,分子的种类可以发生变化,而原子的种类不会发生变化,因此,原子是化学变化中的最小粒子。
环节三:拓展提高
【提出问题】从微观角度解释由过氧化氢制取氧气发生的变化。
【学生回答】由过氧化氢分解制取氧气时,过氧化氢分子分解,生成水分子和氧分子。
环节四:小结作业
小结:培养学生从微观角度认识物质的意识。
作业:思考原子是构成物质的最小微粒吗?
【板书设计】



【答辩题目解析】
1.在原子结构中决定元素种类的是什么?决定元素化学性质的是什么?
2.简要评价你本节课的优缺点。


答案:
解析:
1.
根据元素是质子数(即核电荷数)相同的一类原子的总称,决定元素种类的是质子数(即核电荷数);元素的性质,特别是化学性质,决定于元素的最外层电子数。
2.
我认为本节课教学重难点突出,培养了学生从微观角度看化学变化,达到了本节课的教学目标,同时,为了让学生更加直观的感受物质的分子结构,我借助了媒体的方式帮助学生。在教学语言上,注重直观系统,层次分明,力求通俗易懂。但是,由于经验有限,没有过多结合学生的实际接受情况缺乏灵活性,但是这是可以通过后天的努力改进的。

第2题:

关于分子和原子,下列说法正确的是()。

  • A、物质都是由原子构成的
  • B、物质都是由分子构成的
  • C、物质不都是由分子或原子构成的
  • D、物质由原子或分子构成的

正确答案:D

第3题:

一种物质的原子或分子附着在另一种物质的表面上的现象叫()。


答:吸附

第4题:

CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么?它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率?


正确答案: CVD过程包括两个部分:一、反应剂在边界层中的输运二、反应剂在衬底表面的化学反应 存在两种极限情况:①hg>>ks,Cs趋于Cg,淀积速率受表面化学反应速率控制。反应剂数量:主气流输运到硅片表面的﹥表面化学反应所需要的②hg<0e−EA/KT淀积速率随温度的升高而成指数增加。②高温情况下,质量输运控制由于反应速度的加快,输运到表面的反应剂数量低于该温度下表面化学反应所需要的数量,这时的淀积速率将转为由质量输运控制,基本不再随温度变化而变化。

第5题:

溅射法是由()轰击靶材表面,使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。

  • A、电子
  • B、中性粒子
  • C、带能离子

正确答案:C

第6题:

热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关?淀积速率的测量采用什么办法?


正确答案: 简述其工作原理。淀积速率与蒸发材料温度腔体形状等因素有关。淀积速率通常用石英晶体速率指示仪测量。所用器件为一个谐振板,它可以在谐振频率下振荡,工作时测量其振荡频率。原理:因为晶体顶部有材料蒸发淀积,所外加的质量将使得频率偏移,由测得的频率移动可得出淀积速率。淀积足够厚的材料后,谐振频率会移动几个百分点,振荡器便会失效,不再出现尖锐谐振。将频率测量系统的输出与机械挡板的控制相连,淀积层厚度可以在很宽的淀积速率范围内得到很好的控制。同时可以将淀积厚度的时间速率变化反馈给坩埚的温度控制,以得到恒定的淀积速率。

第7题:

一种物质的原子或分子附着在另一种物质的表面上的现象()。


正确答案:吸附

第8题:

关于分子和原子,下列说法正确的是( )。

A.物质都是由原子构成的

B.物质都是由分子构成的

C.物质不都是由分子或原子构成的

D.物质由原子或分子构成的


正确答案:D

第9题:

对于某种薄膜的CVD过程,淀积温度为900℃,质量传输系数hG=10cms-1,表面反应速率系数ks=1×107exp(-1.9eV/kT)cms-1。现有以下两种淀积系统可供选择(1)冷壁,石墨支座型;(2)热壁,堆放硅片型。应该选用哪种类型的淀积系统并简述理由。


正确答案: 反应室类型热壁:反应室腔壁与硅片及支撑件同时加热。一般为电阻丝加热,可精确控制反应腔温度和均匀性。适合对温度控制要求苛刻的化学反应控制淀积系统,腔内各处都发生薄膜生长。冷壁:仅对硅片和支撑件加热,一般采用辐照加热和射频加热,升降温快速,但温度均匀性差,适合对温度要求不高的质量输运控制。冷壁系统能够降低在侧壁上的淀积,减小了反应剂的损耗,也减小壁上颗粒剥离对淀积薄膜质量的影响。

第10题:

物理气相淀积最基本的两种方法是什么?简述这两种方法制备薄膜的过程。


正确答案: 物理气相淀积:蒸发Evaporation、溅射Sputtering热蒸发法:在真空条件下,加热蒸发源,使原子或分子从蒸发源表面逸出,形成蒸气流并入射到衬底表面,凝结形成固态薄膜。溅射概念与机理:基本原理,真空腔中有一个平行板等离子体反应器,非常类似于简单的反应离子刻蚀系统。
将靶材放置在具有最大离子电流的电极上,高能离子将所要淀积的材料从靶材中轰击出来。靶与晶圆片相距十分近(小于10cm),出射原子大部分能被晶圆所收集。

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