每1立方英尺内直径大于1微米的灰尘不超过1000个
每1立方英尺内直径大于0.5微米的灰尘不超过1000个
每1立方英寸内直径大于1微米的灰尘不超过1000个
每1立方英寸内直径大于0.5微米的灰尘不超过1000个