解释发生刻蚀反应的化学机理和物理机理。

题目

解释发生刻蚀反应的化学机理和物理机理。

参考答案和解析
正确答案:在纯化学机理中,等离子体产生的反应元素(自由基和反应原子)与硅片表面的物质发生应。物理机理的刻蚀中,等离子体产生的带能粒子(轰击的正离子)在强电场下朝硅片表面加速,这些离子通过溅射刻蚀作用去除未被保护的硅片表面材料。
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相似问题和答案

第1题:

简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。


正确答案:物理作用的刻蚀类似于溅射成膜的原理,利用惰性气体的辉光放电产生带正电的离子,在电场作用下加速吸引到下电极上面的基板上,轰击刻蚀薄膜的表面,将薄膜原子轰击出来的过程。常用的惰性气体有氦气(He)、氩气(Ar)等。作用过程完全利用物理上能量的转移进行的,具有很强的刻蚀方向性,可以获得高的各向异性刻蚀断面,线宽控制非常好。
化学作用的刻蚀是一种纯粹的化学反应,利用各种源如射频、微波等,将气体电离产生化学活性极强的原子团、分子团等,扩散到刻蚀薄膜的表面与薄膜发生化学反应,生产易挥发的反应生成物,由真空泵抽离真空反应室。由于只有化学反应发生称之为化学反应刻蚀,类似于湿法刻蚀。只是反应物和生成物都是气态的,且由反应物的等离子体决定刻蚀速率。

第2题:

根据腐蚀的电化学机理,电化学保护方法可以分为阴极保护和阳极保护两。


正确答案:正确

第3题:

腐蚀按反应机理可以分为化学腐蚀和物理腐蚀。()

此题为判断题(对,错)。


参考答案:错误

第4题:

乙烯和氢气、水、卤化氢所发生反应的化学机理不同。


正确答案:错误

第5题:

简述电泳涂装的电化学机理。


正确答案: 电泳涂装过程中伴随着电解、电泳、电沉积、电渗等四种电化学现象。

第6题:

二氧化碳灭火的机理其本质是()。

  • A、物理作用
  • B、化学反应
  • C、链式反应
  • D、物理作用和化学反应

正确答案:A

第7题:

反应离子腐蚀是()。

  • A、化学刻蚀机理
  • B、物理刻蚀机理
  • C、物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合

正确答案:C

第8题:

铜与氯形成的化合物挥发能力不好,因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行,而必须施以()。

  • A、等离子体刻蚀
  • B、反应离子刻蚀
  • C、湿法刻蚀
  • D、溅射刻蚀

正确答案:D

第9题:

900mm酸联轧酸洗除去氧化铁皮的机理是()

  • A、化学反应
  • B、物理反应
  • C、物理反应+化学反应
  • D、以上都不对

正确答案:C

第10题:

根据腐蚀的电化学机理,电化学保护方法可以分为阴极保护盒阳极保护两种。()


正确答案:正确