CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率？

题目

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相似问题和答案

第1题：

质量输运限制CVD和反应速度限制CVD工艺的区别？

正确答案:1、质量传输限制淀积速率
淀积速率受反应物传输速度限制，即不能提供足够的反应物到衬底表面，速率对温度不敏感（如高压CVD）。
2、反应速度限制淀积速率
淀积速率受反应速度限制，这是由于反应温度或压力过低（传输速率快），提供驱动反应的能量不足，反应速率低于反应物传输速度。可以通过加温、加压提高反应速度。

第2题：

物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。

正确答案: 物理气相淀积：蒸发Evaporation、溅射Sputtering热蒸发法：在真空条件下，加热蒸发源，使原子或分子从蒸发源表面逸出，形成蒸气流并入射到衬底表面，凝结形成固态薄膜。溅射概念与机理：基本原理，真空腔中有一个平行板等离子体反应器，非常类似于简单的反应离子刻蚀系统。
将靶材放置在具有最大离子电流的电极上，高能离子将所要淀积的材料从靶材中轰击出来。靶与晶圆片相距十分近（小于10cm），出射原子大部分能被晶圆所收集。

第3题：

热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？

正确答案: 简述其工作原理。淀积速率与蒸发材料温度腔体形状等因素有关。淀积速率通常用石英晶体速率指示仪测量。所用器件为一个谐振板，它可以在谐振频率下振荡，工作时测量其振荡频率。原理：因为晶体顶部有材料蒸发淀积，所外加的质量将使得频率偏移，由测得的频率移动可得出淀积速率。淀积足够厚的材料后，谐振频率会移动几个百分点，振荡器便会失效，不再出现尖锐谐振。将频率测量系统的输出与机械挡板的控制相连，淀积层厚度可以在很宽的淀积速率范围内得到很好的控制。同时可以将淀积厚度的时间速率变化反馈给坩埚的温度控制，以得到恒定的淀积速率。

第4题：

寒带地区的两个主要气候类型的基本特点是什么？它们都分布在哪里？

正确答案: （1）极地长寒气候（苔原所候）。分布在北美大陆和亚欧大陆的北部边缘（南以最热月10℃等温线与亚寒带大陆性气候相接）、格陵兰岛沿海的一部分及北冰洋中的若干岛屿；在南半球则分布在马尔维纳斯群岛、南设得兰群岛和南奥克尼群岛等地。其特征是：全年皆冬，一年中只有1～4个月月平均气温在0°～10℃之间，冬季酷寒而漫长；年降水量约200～300毫米，以雪为主；地面有永冻层，只有地衣、苔藓等低等植物。
（2）极地冰原气候。分布在极地及其附近地区，包括格陵兰、北冰洋的若干岛屿和南极大陆的冰原高原。这里是冰洋气团和南极气团的发源地，整个冬季处于永夜状态，夏半年虽是永昼，但阳光斜射，所得热量微弱，因而气候全年严寒，各月温度都在0℃以下；南极大陆的年平均气温为-25℃，是世界上最寒冷的大陆，1967年挪威人曾测得-94.5℃的绝对最低气温，可堪称为世界“寒极”。地面多被巨厚冰雪覆盖，又多凛冽风暴，植物难以生长。

第5题：

布线测试一般分有哪些测试，它们分别又被称为什么，它们的好处是什么？在布线施工过程中，由于端接技巧和放线、穿线技术等原因会产生哪些接线错误？

正确答案: 一般分有验证测试和认证测试；
验证测试：又称为随工测试，是边施工边测试，主要检测线缆质量和安装工艺，及时发现并纠正所出现的问题，不至于等到工程完工时才发现问题而重新返工，耗费不必要的人力、物力和财力。
认证测试：又称为验收测试，是所有测试工作中最重要的环节，是在工程验收对布线系统的安装、电气特性、传输性能、设计、选材和施工质量的全面检验，是评价综合布线工程质量的科学手段。
会产生开路、短路、反接/交叉、跨接/错对和串扰等接线错误。

第6题：

对于某种薄膜的CVD过程，淀积温度为900℃，质量传输系数hG=10cms-1，表面反应速率系数ks=1×107exp（-1.9eV/kT）cms-1。现有以下两种淀积系统可供选择（1）冷壁，石墨支座型；（2）热壁，堆放硅片型。应该选用哪种类型的淀积系统并简述理由。

正确答案: 反应室类型热壁：反应室腔壁与硅片及支撑件同时加热。一般为电阻丝加热，可精确控制反应腔温度和均匀性。适合对温度控制要求苛刻的化学反应控制淀积系统，腔内各处都发生薄膜生长。冷壁：仅对硅片和支撑件加热，一般采用辐照加热和射频加热，升降温快速，但温度均匀性差，适合对温度要求不高的质量输运控制。冷壁系统能够降低在侧壁上的淀积，减小了反应剂的损耗，也减小壁上颗粒剥离对淀积薄膜质量的影响。

第7题：

通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。

A、再分布
B、等表面浓度扩散
C、预淀积
D、等总掺杂剂量扩散

正确答案:C

第8题：

采用LPCVD TEOS淀积的是什么膜？这层膜的优点是什么？

正确答案:多晶硅薄膜
用TEOS（正硅酸乙酯）-臭氧方法淀积SiO₂ Si（C₂H₅O₄）＋8O₃ SiO₂＋10H₂O＋8CO₂
优点：
A.低温淀积；
B.高的深宽比填隙能力；
C.避免硅片表面和边角损伤。

第9题：

简述旅行费用法和意愿调查评价法两方法的主要工作步骤，它们分别在什么情况下可以应用？

正确答案: A、旅行费用法P118：用来评价没有市场价格的自然景点或者环境境资源，通过消费这些环境商品或服务所获得的效益和价值和支付意愿。
主要工作步骤：
（1）定义和划分旅游者的出发地区
（2）在评价地点对旅游者进行抽样调查
（3）计算每一区域内到此地点旅游的人次（旅游率）
（4）求出旅行费用对旅游率的影响。
适用范围：a休闲娱乐场地；b自然保护区、国家公园、用于娱乐的森林和湿地；c水库、大坝、森林等兼有休闲娱乐及其他用途的地方等。
使用条件：这些地点是可以到达的，至少在一定的时间范围内可以到达；所涉及的场所没有直接的门票及其他费用，或者收费很低；人民到达这样的地点，要花费大量的时间或者其他开销。
B、意愿调查评估法：当评估对象既无市场价格又无可以替代的市场价格作为评价依据时，可用意愿调查法进行环境评估。
基本概念：当缺乏真实的市场数据时，通过调查，推导出人们对环境资源的假想变化的评价和防止环境恶化措施的支付愿望从而间接地赋予环境资源以价值的方法，也称为假想评价法。
主要工作步骤：
①直接询问调查对象的支付或接受赔偿的意愿；
②询问调查对象对意愿的商品或服务的需求量，推断出支付意愿或接受赔偿意愿；
③通过对专家进行调查的方式来评定环境资产的价值。
适用范围与条件：意愿调查价值评估法适于评价下述物品或服务：
①空气和水质量；
②休闲娱乐（包括钓鱼，狩猎，公园等）；
③无价格的自然资产的保护，如原始森林；
④生物多样性的选择价值和存在价值；
⑤生命和健康影响或风险；
⑥交通条件改善；
⑦供水、卫生设施和污水处理。

第10题：

SLIP和PPP协议的主要特点是什么？它们适用在什么情况下？

正确答案: SLIP协议主要特点是：
（1）SLIP没有差错检测的功能。如果一个SLIP帧在传输中出了差错，就只能靠高层来进行纠正。
（2）通信的每一方必须事先知道对方的IP地址。这对拨号人网的用户是很不方便的。
（3）SLIP仅支持IP，而不支持其他的协议。
（4）SLIP并未成为Intermet的标准协议。因此目前存在着多种互不兼容的版本，影响了不同网络的互连。
PPP协议主要特点是：
（1）PPP既支持异步链路（无奇偶校验的8比特数据），也支持面向比特的同步链路。而且PPP不仅可支持IP，而还可支持其他的协议，如：IPX，Netbios等等。
（2）PPP可进行参数协商，而且可进行动态IP地址分配。
（3）PPP具有差错检测的功能。
（4）PPP可进行身份认证。
（5）PPP是Intermet的标准协议。
SLIP主要用于低速（不超过19．2kb／s）的交互性业务。当用户拨号接人ISP时，可使用PPP协议。因为PPP不仅能进行动态IP地址分配，自动配置网络协议，而且可进行用户身份认证

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