成品片有溅镀针孔是如何产生的?如何解决?

题目

成品片有溅镀针孔是如何产生的?如何解决?

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相似问题和答案

第1题:

怎样校正溅镀机PA?


正确答案: 当溅镀机PA取片不好或发现盘片在PA处有划伤时,就要校正PA。
(1)将溅镀机与传送梁连接的螺栓松开,SA升起,PA在0°或180°位置UP位置,关掉压缩空气,加上校正工具,检查PA在传送梁上的位置是否正确。如果不正确,用手锤轻轻撞动溅镀机达到位置,然后紧固。
(2)拆下校正工具,给上压缩空气,手动吸真空,但取片是否正常,如果PA过高、过低时,关掉真空泵、压缩空气,松开螺栓,将溅镀机地脚升起或落下。
(3)重复1、2步骤,直到PA在传送梁上取片正常,PA位置正确位置。

第2题:

如何调整成品片翘曲?


正确答案: 调整PC料射速、start位、1V、2P压力、3P压力、4P压力、时间及压力改变量,碟片厚度、模具吹风、穿透率。
PC料射速小一些,start位大一些,可使max press变小,有利于翘曲。2P压力、3P压力、4P压力大小要设置合理,厚度不宜太大与太小,一般以590±10μm为宜,脱模要好,而且要稳定,穿透率在不超标的情况下,大一些有利于TT。

第3题:

如何掌握溅渣时间与溅渣频率?


正确答案:溅渣时间是溅渣操作中的一个重要工艺参数,目前多数厂的溅渣时间定为2.5~4min。溅渣时间过短,炉渣没有得到充分的冷却和混匀,炉渣条件比较差,即使溅到炉壁上,也不能很好地挂上,起不到护炉的作用。正常情况下,溅渣时间越长,炉衬挂渣越多,但也易造成炉底上涨和粘枪。在留渣量较小时,会造成炉底磨损增大,炉底寿命下降。在炉渣温度过低或流动性较差的时候,炉渣溅不起来,如果一味地延长溅渣时间,由于渣况不良,溅渣时间再长,也起不到溅渣的效果。反而,由于溅渣时间的延长,炉衬温度降得过低,既浪费了氮气也影响了随后的炼钢操作,同时还降低了生产效率。溅渣的频率,及合理溅渣操作的间隔炉数,是溅渣护炉的重要操作工艺参数之一。一般应在炉役的中期就开始溅渣,可以两炉一溅,在炉衬厚度为400mm左右时保持炉炉溅渣,为争炉衬厚度保持在300mm~400mm之间,形成动态平衡,有利于形成“永久”炉衬。关于溅渣频率可以概括为“前期不溅,中期两炉一溅,中后期炉炉都溅”。

第4题:

当溅镀机报警阴极短路时,操作员应如何处理?


正确答案:将溅镀机泄真空,将靶材取出,清洁阴极更换大、小mask。

第5题:

8.0溅镀机触摸屏没溅镀界面不能进入,为什么?


正确答案:如果从溅镀机触摸屏的原文件也不能进入,说明文件丢失。就要重新安装程序。用U盘接入电脑的USB接口处,开启电脑,电脑会自动复制文件,并初始化进入溅镀界面,完毕后拔下U盘,可以准备开机。

第6题:

简述什么是裂片与松片?如何解决?


正确答案:裂片是指片剂因振动或贮存时中间裂开或表面剥落的现象。是由于粘合剂选择不当、细粉过多、压力过大等原因,应视情况处理。
松片是在包装运输等过程中出现破碎或被磨损等现象。可调整压力和增加适当粘合剂以解决。

第7题:

溅镀机发生短路怎样做?


正确答案:溅镀机发生短路应清洁阴极和O型圈。

第8题:

如何产生解决问题的新观念?
(1)设想尽可能多的解决问题的观念。
(2)充分激发主体的想象力。
(3)特别关注问题解决对象的边缘部分。

第9题:

溅镀机在运行当中,报警短路并不溅镀应立即做哪些工作?


正确答案:立即停机检查mask是否有银屑脱落,主仓是否清洁。

第10题:

溅镀机抽不上真空怎样解决?


正确答案:检查mask、靶材,清理密封圈及主仓,再检查预抽泵油位。