光刻三要素分别是什么?

题目
问答题
光刻三要素分别是什么?
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相似问题和答案

第1题:

什么叫光刻?光刻工艺质量的基本要求是什么?


正确答案: 光刻是一种图形复印和化学腐蚀相结合的精密表面加工技术。
对光刻工艺质量的基本要求是:刻蚀的图形完整、尺寸准确、边缘整齐、线条陡直;图片内无小岛、不染色、腐蚀干净;图形套合十分准确;介质膜或金属膜上无针孔;硅片表面清洁、不发花、无残留的被腐蚀物质。

第2题:

光刻和刻蚀的目的是什么?


正确答案:光刻的目的是将电路图形转移到覆盖于硅片表面的光刻胶上,而刻蚀的目的是在硅片上无光刻胶保护的地方留下永久的图形。即将图形转移到硅片表面。

第3题:

切削用量三要素分别是什么?


参考答案:“切削用量三要素”是切削速度、进给量和背吃刀量(切削深度)。

第4题:

整顿的“三定原则”及“三要素”分别是什么?


正确答案:三定原则:定位、定容、定量;
三要素:场所、标识、方法。

第5题:

表演三要素是什么?舞台行动三要素是什么?


正确答案: 真听、真看、真感觉(真思考)。做什么、为什么做、怎么做。

第6题:

解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?


正确答案:光刻胶显影是指用化学显影液溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域,其主要目的是把掩膜版图形准确复制到光刻胶中。

第7题:

彩色三要素分别指()、()、()。


正确答案:色调(H);饱和度(S);强度(I)

第8题:

在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?


正确答案:一、将掩膜版图案转移到硅片表面顶层的光刻胶中
二、在后续工艺中,保护下面的材料

第9题:

导游工作集体“三成员”和“导游服务”三要素分别是什么?


正确答案: 全配、地陪、领队;语言水平、知识水平、服务技能。

第10题:

问答题
简述什么是光刻胶、光刻胶的用途、光刻对光刻胶的要求。

正确答案: 光刻胶是一种有机化合物,它受紫外线曝光后在显影液中的溶解度发生显著变化,而未曝光的部分在显影液中几乎不溶解。
光刻胶的用途:①做硅片上的图形模版(从掩膜版转移到硅片上的图形);
②在后续工艺中,保护下面的材料(例如刻蚀或离子注入)。
光刻对光刻胶的要求:①分辨率高;
②对比度好;
③敏感度好;
④粘滞性好;
⑤粘附性好;
⑥抗蚀性好;
⑦颗粒少。
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