MPW多项目晶圆

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名词解释题
MPW多项目晶圆
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相似问题和答案

第1题:

二轴晶光率体的光轴面与圆切面为:().

  • A、平行
  • B、斜交
  • C、垂直

正确答案:C

第2题:

沾污引起的电学缺陷引起(),硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。

  • A、不会影响成品率
  • B、晶圆缺陷
  • C、成品率损失
  • D、晶圆损失

正确答案:C

第3题:

楝科植物组织中多含有()。

A、草酸钙方晶砂晶

B、草酸钙柱晶

C、晶纤维

D、草酸钙方晶

E、草酸钙簇晶


参考答案:CDE

第4题:

番泻叶粉末中可见()

  • A、石细胞
  • B、多细胞非腺毛
  • C、叶肉等面型
  • D、晶纤维
  • E、簇晶

正确答案:C,D,E

第5题:

集成电路的主要制造流程是()

  • A、硅抛光片——晶圆——芯片——集成电路——成品测试
  • B、硅抛光片——芯片——晶圆——成品测试——集成电路
  • C、晶圆——硅抛光片——芯片——成品测试——集成电路
  • D、硅抛光片——芯片——晶圆——集成电路——成品测试

正确答案:A

第6题:

对RTP来说,很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度上升速度加快后,滑移现象变得更为严重,这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的?


正确答案: 硅片热不均匀的因素三个因素造成硅片的热不均匀问题(硅片边缘温度比中心低):
圆片边缘接收的热辐射比圆片中心少
圆片边缘的热损失比圆片中心大
气流对圆片边缘的冷却效果比圆片中心好
边缘效应造成的温度梯度通常在几十甚至上百度,不仅导致热处理工艺的不均匀,且可能造成滑移等缺陷和硅片的翘曲。

第7题:

晶粒越细小,晶界越(),晶格畸变越(),强度硬度越高。

  • A、多,多
  • B、多,少
  • C、少,多
  • D、少,少

正确答案:A

第8题:

圆翳内障是指( )。

A、黑睛雾状混浊

B、神膏混浊

C、晶珠混浊

D、神水混浊

E、白睛混浊


参考答案:C

第9题:

番泻叶的显微特征为()

  • A、上表皮细胞含粘液质
  • B、非腺毛多细胞
  • C、叶肉等面型
  • D、晶纤维
  • E、簇晶、棱晶

正确答案:A,C,D,E

第10题:

刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率,()是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度,并计算这些点的刻蚀速率而得到的。

  • A、选择性
  • B、均匀性
  • C、轮廓
  • D、刻蚀图案

正确答案:B