离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

题目
判断题
离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。
A

B

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第1题:

与CCD摄像机相比CMOS摄像机的灵敏度更高。


正确答案:错误

第2题:

与离线市场相比,在线市场的价格灵敏度()

  • A、更高
  • B、不变
  • C、更低
  • D、不确定

正确答案:A

第3题:

下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用()

A.电子束

B.离子束

C.激光束

D.超声波

E.等离子体


正确答案:AB

第4题:

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()

  • A、电子束曝光技术
  • B、离子束曝光技术
  • C、X射线曝光技术

正确答案:B

第5题:

DR与CR相比()

  • A、曝光量小,但信噪比较差
  • B、曝光量稍大,但信噪比好
  • C、曝光量小,且信噪比较高
  • D、曝光量稍大,且信噪比较差
  • E、密度分辨率差

正确答案:C

第6题:

按曝光的光源分类,曝光可以分为()。

  • A、光学曝光
  • B、离子束曝光
  • C、接近式曝光
  • D、电子束曝光
  • E、投影式曝光

正确答案:A,B,D

第7题:

CT与常规X线检查相比突出的特点是()

  • A、空间分辨率高
  • B、密度分辨率高
  • C、曝光时间短
  • D、适合各种功能检查
  • E、密度分辨率低

正确答案:B

第8题:

DR与CR相比

A.曝光量小,但信噪比较差

B.曝光量稍大,但信噪比好

C.曝光量小,且信噪比较高

D.曝光量稍大,且信噪比较差

E.密度分辨率差


正确答案:C

第9题:

激光束、离子束、电子束均可对工件表面进行改性。


正确答案:正确

第10题:

离子束加工装置与电子束加工装置类似,不同的是用()取代了()。


正确答案:离子源;电子枪

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