化学气相沉积和物理气相沉积的基本原理是什么?

题目
问答题
化学气相沉积和物理气相沉积的基本原理是什么?
参考答案和解析
正确答案: 物理气相沉积,在真空条件下,用物理方法使材料气化成原子、分子或电离成离子,并通过物理沉积过程,在材料表面沉积一层薄膜的技术;
化学气相沉积,在一定条件下,混合气体相互作用或与基体表面相互作用而在基体表面形成金属或化合物薄膜的方法。
解析: 暂无解析
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相似问题和答案

第1题:

目前常用刀具涂层方法有()。

  • A、化学气相沉积法
  • B、物理气相沉积法
  • C、盐浴浸镀法
  • D、等离子喷涂

正确答案:A,B

第2题:

生产超细颗粒的方法中PVD和CVD法分别指()

  • A、物理气相沉积法;
  • B、化学气相沉积法;
  • C、气相法;
  • D、固相法

正确答案:A,B

第3题:

简述化学气相沉积工艺过程的要点。


正确答案: 1、涂层的形成是通过气相的化学反应完成的
2、涂层的形核和长大是在基体的表面上进行的
3、所有涂层的反应均为吸热反应,所需热量靠辐射或感应加热供给

第4题:

利用气态化合物(或化合物的混合物)在基体受热表面发生化学反应,并在该基体表面生成固态沉积物的技术称()。

  • A、物理气相沉积(PVD)
  • B、物理气相沉积(CVD)
  • C、化学气相沉积(VCD)
  • D、化学气相沉积(CVD)

正确答案:D

第5题:

油气的生成和分布与()关系密切,特别是生油层与储集层的形成和分布受()的控制。

  • A、沉积物;沉积相
  • B、沉积物;沉积物
  • C、沉积相;沉积环境
  • D、沉积相;沉积相

正确答案:D

第6题:

刀具表面涂层技术是一种优质的(),它是在普通高速钢和硬质合金刀片表面,采用化学气相沉积或者物理气相沉积的工艺方法,覆盖一层高硬度难融金属化合物。


正确答案:表面改性技术

第7题:

化学气相沉积(气→固)可以分为哪几种?


正确答案: 可分为热解化学气相沉积、氧化还原反应沉积、化合反应沉积、化学输运反应沉积四种。典型的例子是CVD生长石墨烯。
1、发生热解化学气相沉积反应的有氢化物、有机烷氧基的元素化合物、金属的碳基化合物等。
2、氧化还原反应沉积通常是由金属的氢化物或有机烷基化合物通入氧气发生,或者由卤化物通入氢气发生。
3、化合反应沉积常利用氢化物或有机烷基化合物的不稳定性,经过热分解以后立即在气相中和其他原料气反应生成固态沉积物。
4、利用物质本身在高温下会气化分解然后在沉积反应器稍冷的地方反应沉积生成薄膜、晶体或粉末等形式的产物。

第8题:

什么叫化学气相沉积?


正确答案:化学气相沉积,是在一定的温度下,混合气体之间或者混合气体与基体表面之间相互作用,在基体表面形成金属或火鹤舞等固态膜或镀层,使材料表面改性,以满足耐磨、抗氧化、抗腐蚀以及特定的化学、光学和摩擦学等特殊性能要求的一种技术。

第9题:

物理气相沉积


正确答案:物理气相沉积是用物理方法将源物质转移到气相中,在基体上形成覆盖层的方法。

第10题:

简述化学气相沉积生产装置


正确答案: (1)气相反应室;
(2)加热系统;
(3)气体控制系统;
(4)排气系统