PECVD所采用的等离子种类有()。

题目
填空题
PECVD所采用的等离子种类有()。
参考答案和解析
正确答案: 辉光放电等离子体、射频等离子体、电弧等离子体
解析: 暂无解析
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相似问题和答案

第1题:

等离子弧焊接所采用的电源绝大多数为且能陡降外特性的硅整流焊机。


正确答案:正确

第2题:

简述PECVD薄膜沉积的原理。


正确答案:薄膜的沉积原理包括三个基本的过程:
1)等离子体反应,是指等离子体通过与具有能量的电子、离子或者基团等粒子碰撞,使通入到反应室中的气体分子分解的过程。其中等离子体包括自由基、原子和分子等中性粒子,以及离子和电子等非中性粒子。
2)输送粒子到基板表面,等离子体产生的粒子以扩散方式或离子加速的形式输运到基板表面。中性粒子受浓度梯度的驱动以扩散方式输运到基板表面,阳离子受等离子和基板间的电位差驱动而离子加速运动到基板表面。
3)在表面发生反应,当粒子达到基板表面时,通过一系列吸附、迁移、反应,以及中间产物的解吸附过程形成要沉积的薄膜。衬底温度对每一步都是致关重要的。

第3题:

采用等离子点火燃烧器,点火和稳燃与传统的燃油相比有几个优点()、环保、()、简单。


参考答案: 经济;高效

第4题:

等离子弧焊时,对焊工所穿的工作服和所戴的手套要求有较好的防热性。


正确答案:正确

第5题:

方材胶合有哪几种类型?简要说明各自的胶合工艺与所采用的设备。为什么要采用方材胶合工艺?


正确答案: 类型:短料接长,窄料拼宽,薄料层积
目的:尺寸较大的零件由于木材干缩湿涨,因收缩或膨胀而引起翘曲变形,对于尺寸较大的零部件可以采用方材胶合工艺而成,能扩大零部件幅面断面尺寸,提高木材利用率、节约大块木材,使零件的尺寸和形状稳定、减少变形开裂和保证产品质量,改善产品的强度和刚度等力学特性。
平拼板方材:原木制材——锯材干燥——横截——双面刨光——纵解——横截或剔缺陷——涂胶——胶拼——砂光——裁边
指接板方材(集成材):原木制材→锯材干燥→横截→双面刨光→纵解→横截或剔缺陷→指榫铣齿→指榫涂胶→纵向接长→(高频加热固化)→四面刨光→涂胶→胶拼→(高频或热空气加热固化)→砂光→裁边。

第6题:

等离子弧切割,应主要根据切割厚度来选择等离子气种类和流量。


正确答案:正确

第7题:

简述PECVD设备的特点。


正确答案:P.ECVD设备的优点:
1)可以大面积均匀成膜、生长性好、能在较低的温度下形成致密的薄膜;
2)可防止热产生的损伤及相互材料的扩散;
3)可生长需要低温成膜及及反应速度慢的薄膜;
4)设备内的平行电极方便实现大面积化。

第8题:

等离子弧焊接所采用的电源绝大多数为具有陡降外特性的硅整流焊机。

A

B



第9题:

简述太阳能电池片制造PECVD的目的及原理?


正确答案:目的:在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。
P.ECVD技术原理:是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。

第10题:

等离子弧对电源的要求:外特性();电流种类直流反接,对空载电压要求()。


正确答案:陡降外特性;高电压