刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。
第1题：
分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程？
第2题：
试分析背沟道刻蚀型的5次光刻中过孔的工艺难点。
第3题：
A.化学刻蚀
B.离子刻蚀
C.电解刻蚀
D.以上均不是
第4题：
在集成电路工艺中，光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是（）。
第5题：
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
第6题：
有机性气体大多产生在下列哪道工艺（）。
第7题：
刻蚀工艺会影响电池片的哪项电性能？（）
第8题：
通常情况下，我们改变工艺条件使刻蚀进行中（）的刻蚀速率尽量低。
第9题：
（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。
第10题：
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。